完整的真空泵分类

一、气体输送泵

1、变容泵

①往复式真空泵—主要包括隔膜真空泵、活塞往复真空泵

②旋转泵

a、油封泵—旋片式真空泵、定片真空泵、滑阀真空泵

b、无油泵—往复式真空泵、多级罗茨真空泵、爪式真空泵、涡旋真空泵、螺杆真空泵

c、液环真空泵—水环式真空泵、油环真空泵

d、罗茨真空泵—普通罗茨真空泵、气体循环冷却罗茨真空泵

2、动量传输泵

a、分子泵—涡旋分子泵、牵引分子泵、复合分子泵

b、喷射泵—水喷射真空泵、气体喷射泵、水蒸气喷射泵

c、扩散泵—油扩散泵、油扩散增压泵

二、气体捕集泵

分子筛吸附泵、吸气剂泵、钛升华泵、溅射离子泵、低温泵、冷凝泵